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    雙面研磨/拋光機
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    雙面研磨/拋光機
    YJ-16B8L/PB

    被加工件最大厚度:30mm
    被加工件最大直徑:φ290mm
    機器重量:約4200Kg
    本機器主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其他半導體材料的雙面高精度研磨或拋光,也適用于其他金屬、非金屬、光學玻璃、藍寶石等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨或拋光。
    This machine is suitable for double-side precision lapping and polishing of silicon wafer, crystal quartz wafer, sapphire wafer, optical crystal, optical glass, lithium niobium acid, ceramic wafer, and other hard and fragile materials.
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    產品特點產品特點
  • 機器采用三電機驅動,主電機驅動下盤和齒圈,上盤、太陽輪分別由電機單獨驅動,電機均采用變頻電機,實現平穩的停止、加速、減速及換向;
  • 機架采用龍門式結構,剛性好,承壓能力強,能滿足高負載下高速穩定運行;
  • 齒圈升降結構由氣缸驅動含斜面的抬升套旋轉,實現齒圈升降;
  • 上盤下降過程中,設置了快降和緩降,緩降行程在氣缸行程范圍內可調,緩降速度也可根據工件抗沖擊程度自由調整;
  • 為了滿足不同用戶的特殊需要,該機的內齒圈和太陽輪的速度分別可調,調整速度實現游星輪的正、反轉;通過游星輪正轉和反轉,實現盤面的修研。
  • 項目 規格 項目 規格
    YJ-16B8LB YJ-16B8PB
    上下盤(mm)(內徑x外徑x厚度) φ1188xφ618x45 (柱銷齒) 上下盤(mm)(內徑x外徑x厚度) φ1188xφ618x45 (柱銷齒)
    最小研磨厚度 (mm) 0.3 最小拋光厚度 (mm) 0.3
    最大研磨厚度 (mm) 30 最大拋光厚度 (mm) 30
    最大研磨直徑(mm) φ290 最大拋光直徑(mm) φ290
    安裝游星輪個數 8 安裝游星輪個數 8
    下盤轉速 0-50RPM 下盤轉速 0-50RPM
    上盤提升氣缸行程 450mm 上盤提升氣缸行程 450mm
    齒圈抬升行程 30mm 齒圈抬升行程 30mm
    上盤電機 三相 7.5Kw 1450rpm 上盤電機 三相 7.5Kw 1450rpm
    下盤電機 三相 7.5Kw 1450rpm 下盤電機 三相 7.5Kw 1450rpm
    太陽輪電機 三相 1.5/2.2Kw 1450rpm 太陽輪電機 三相 1.5/2.2Kw 1450rpm
    砂泵電機 250W 砂泵電機 250W
    加壓范圍 0-400kg 加壓范圍 0-400kg
    工作壓力 0.5-0.6Mpa 工作壓力 0.5-0.6MPa
    裝機容量 約18KVA 裝機容量 約18KVA
    主機尺寸 1970x1765x2670 (mm) 主機尺寸 1970x1765x2670 (mm)
    設備總重量 約4200Kg 設備總重量 約4200Kg
    設備每平方米重量 約1550kg/㎡ 設備每平方米重量 約1550kg/㎡
    設備要求地面承重 約1710kg/㎡ 設備要求地面承重 約1710kg/㎡

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